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Lam Research AG

Lam Research

Details

Standort Villach
Kärnten
ÖSTERREICH
Partnerkategorie Unternehmen
Web www.lamresearch.com

Projektbeteiligungen als Partner

ASSIC

abgeschlossen
ASSIC Austrian Smart Systems Integration Research Center

Mikro- und nanoelektronische Komponenten und Systeme sind unverzichtbar für moderne Produkte und Dienstleistungen, ermöglichen Innovation und steigern damit die Wettbewerbsfähigkeit der Unternehmen in...

DO it Clean

abgeschlossen
Design and Operation of Future Cleanrooms

Reinräume sind hochkomplexe Einrichtungen, die die Voraussetzung für zahlreiche Fertigungsprozesse (Halbleiter, pharmazeutische Produkte, Satelliten) schaffen. In diesen Räumen müssen extrem hohe Qual...

MuZoDry

abgeschlossen
Multi Zone Drying

Jeder auf dem Spin-Verfahren basierende Ätz und Reinigungsprozess erfordert am Ende der Bearbeitung das Abspülen der Prozesschemikalie mit DI Wasser und die Trocknung des Wafers. Besonders beim Aufbr...

NaPaRe

abgeschlossen
Nano Particle Reduction

Das Ziel des Projektes ist eine umfassende Analyse aller möglichen Arten und Wege, wie kleinste Partikel auf der Waferoberfläche kommen können, sowie die Entwicklung wirksamer Methoden zur Vermeidung,...

SensSemicon

abgeschlossen
Intelligente Sensorsysteme in der Halbleitermaschinenproduktion für prädiktive Instandhaltung

Eines der wesentlichen und zentralen Themen der Zukunft ist industrielle Fertigung gemäß den Prinzipien der Industrie 4.0, d.h. unter Nutzung intelligenter Maschinen und Produktionsabläufe. Gerade jen...